Введение
Глава 1. Обзор литературы 7
Глава 2. Методика и экспериментальная техника исследований свойств МДП-сенсоров 14
2.1 МДП-структура и ее свойства. 14
2.2 Устройство и принцип действия МДП-сенсора . 18
2.3 Установка для лазерного напыления пленок. 21
2.4 Установка для измерений вольт-фарадных характеристик сенсоров. 24
2.5 Установка для измерений характеристик сенсоров. 26
2.6 Блок-схема газоанализатора. 31
Глава 3. Исследования явлений непостоянства характеристик МДП-сенсоров 32
3.1 Непостоянство характеристик МДП-сенсоров в результате их выдержки в некоторых газах. 32
3.2 Влияние термообработки на характеристики МДП-сенсоров . 40
3.3 Влияние рабочей температуры сенсора на форму динамической характеристики. 42
3.4 Исследование явления "интерференции" чувствительностей МДП-сенсоров. 45
3.5 Выводы 51
Глава 4. Модель механизма чувствительности МДП- сенсоров 52
4.1 Обзор представлений о механизме чувствительности МДП-сенсоров. 52
4.2 Формулировка модели механизма чувствительности МДП-сенсоров к концентрациям газов (качественно). 57
4.3 Количественная формулировка модели. 65
4.4. Сопоставление экспериментальных фактов с моделью. 67
4.5 Методы стабилизации характеристик МДП-сенсоров. 69
4.6.Выводы. 72
Глава 5. Методы повышения селективности МДП-сенсоров 73
5.1 Способ измерений концентраций этилмеркаптана и сероводорода в их смеси. 74
5.2 Двухканальный метод отбора газовых проб . 78
5.3 Повышение селективности МДП-сенсоров с помощью вариации технологии их изготовления. 81
5.4 Выводы. 82
Основные результаты и выводы 83
Приложение 85
Список цитируемой литературы 90
