Струйная плазма высокочастотного индукционного разряда в процессах нанесения оптических покрытий
Галяутдинов Рафаэль Тагирович. Струйная плазма высокочастотного индукционного разряда в процессах нанесения оптических покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 01.02.05.- Казань, 2002.- 172 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2417-8