Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор современного состояния исследований свойств тонких плёнок на основе ZnO 11
1.1. История становления и перспективы развития полупроводниковой спинтроники 11
1.2. Общая характеристика ZnO 18
1.3. Тонкие плёнки: определение, классификация и применение 26
1.4. Механизмы эпитаксиального роста тонких плёнок 29
1.5. Методы получения тонких плёнок. Импульсное лазерное осаждение 33
1.6. Современное состояние исследований свойств разбавленных магнитных полупроводников на основе ZnO
1.6.1. Высокотемпературный ферромагнетизм 48
1.6.2. Электронная и дырочная проводимость 51
1.6.3. Отрицательное колоссальное магнитосопротивление 54
1.7. Выводы 57
ГЛАВА 2. Экспериментальные установки для импульсного лазерного осаждения, условия синтеза и методы исследования тонких плёнок на основе ZnO 59
2.1. Экспериментальные установки для импульсного лазерного осаждения тонких плёнок на основе ZnO 59
2.2. Подготовка подложек для осаждения тонких плёнок на основе ZnO 62
2.3. Условия синтеза тонких плёнок на основе ZnO
2.3.1. Условия синтеза тонких плёнок Zn1-хCoхOy 64
2.3.2. Условия синтеза тонких плёнок Zn1-хMnхOy 65
2.3.3. Условия синтеза тонких плёнок Zn1-хLiхOy
2.4. Методы исследования тонких плёнок на основе ZnO 69
2.5. Выводы. 80
ГЛАВА 3. Тонкие плёнки zno, легированные Co 81
3.1. Состав, структура и морфология мишеней до и после лазерной абляции 82
3.2. Состав, структура и морфология тонких плёнок Zn1-хCoхOy 92
3.3. Электрические свойства тонких плёнок Zn1-хCoхOy. 100
3.4. Магнитные свойства тонких плёнок Zn1-хCoхOy 104
3.5. Магнитооптические свойства тонких плёнок Zn1-хCoхOy 107
3.6. Выводы 109
ГЛАВА 4. Тонкие плёнки ZnO, легированные Mn 111
4.1. Состав, структура и морфология тонких плёнок Zn1-хMnхOy 112
4.2. Электрические свойства тонких плёнок Zn1-хMnхOy 115
4.3. Магнитные свойства тонких плёнок Zn1-хMnхOy 120
4.4. Магнитотранспортные свойства тонких плёнок Zn1-хMnхOy 122
4.5. Выводы 128
ГЛАВА 5. Тонкие плёнки ZnO, легированные Li 130
5.1. Состав, структура и морфология тонких плёнок Zn1-хLiхOy 131
5.2. Электрические свойства тонких плёнок Zn1-хLiхOy 133
5.3. Магнитные свойства тонких плёнок Zn1-хLiхOy 138
5.4. Профилирование элементного состава по толщине и электронное состояние атомов в тонких плёнках Zn1-хLiхOy 140
5.5. Выводы. 147
ЗАКЛЮЧЕНИЕ 149 СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ И УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ 152 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
