Структура и свойства бинарных и многокомпонентных покрытий на основе оксида титана и оксида гафния, формируемых атомно-слоевым осаждением из алкоксидов титана и этилметиламида гафния
Токнова Валентина Федоровна. Структура и свойства бинарных и многокомпонентных покрытий на основе оксида титана и оксида гафния, формируемых атомно-слоевым осаждением из алкоксидов титана и этилметиламида гафния: автореферат дис. ... кандидата химических наук: 02.00.21 / Токнова Валентина Федоровна;[Место защиты: Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)].- Санкт-Петербург, 2013
