Введение
Глава 1. Литературный обзор 11
1.1. Конструкции исполнительных элементов устройств микро- и наносистемной техники на основе тонких слоев нитрида кремния, выполняемых с применением полиимидных «жертвенных» слоев 11
1.2. Технологические процессы изготовления исполнительных элементов устройств микро- и наносистемной техники на основе слоев нитрида кремния с применением полиимидных «жертвенных» слоев 14
1.3. Структура и свойства тонких слоев нитрида кремния 25
Глава 2. Исследование закономерностей формирования структуры и свойств слоев нитрида кремния на полиимидных покрытиях и пленках 34
2.1. Объекты исследования, способы получения и обработки образцов 34
2.2. Методы исследования 39
2.3. Влияние соотношения реакционных газов на химическое строение и модуль упругости слоев нитрида кремния 44
2.4. Влияние подложки на состав и структуру осажденных слоев нитрида кремния 50
2.5. Влияние подложки на морфологию осажденных слоев нитрида кремния 55
2.6. Влияние плазмохимической обработки на поверхностную энергию полиимидного покрытия 58
2.7. Влияние плазмохимической обработки полиимидного покрытия на поверхностную энергию и расчетную работу адгезии осажденных слоев нитрида кремния различной толщины в сухом и увлажненном состоянии 65
Глава 3. Исследование закономерностей травления полиимидных «жертвенных» слоев из зазоров, состава и свойств освобожденных травлением слоев нитрида кремния 76
3.1. Объекты и методы исследования 76
3.2. Кинетика травления полиимидных «жертвенных» слоев при различной топологии слоя нитрида кремния и длительности травления 81
3.3. Состав продуктов травления полиимидного «жертвенного» слоя 90
3.4. Состав освобожденной травлением полиимидного «жертвенного» слоя поверхности нитрида кремния 93
3.5. Влияние толщины слоя нитрида кремния на остаточные деформации тестовых балочных элементов на его основе 98
Глава 4. Использование полученных результатов в разработке технологии изготовления компонентов устройств нано- и микросистемной техники 103
4.1. Формирование структур на основе наноразмерных слоев нитрида кремния с использованием полиимидных «жертвенных» слоев для матричных микроболометрических приемников ИК-излучения 103
4.2. Формирование защитных слоев на основе нитрида кремния для газового сенсора на основе композиционных покрытий «полиимид -многостенные углеродные нанотрубки» 114
Выводы по работе 122
Литература 126
Приложение 1. Методика определения теплофизических характеристик микромостиковых структур 143
Приложение 2. Заключения об использовании результатов диссертационной работы 148
