Введение
Глава 1. Пленки нитрида титана, методы получения и применение 10
1.1. Свойства нитрида титана 10
1.2. Методы получения пленок нитрида титана 12
1.3. Применение пленок нитрида титана .41
Резюме .44
Глава 2. Экспериментальные установки и методы проведения измерений 46
2.1. Установка получения пленок нитрида титана 46
2.2. Особенности метода получения субмикронных пленок TiN 54
Резюме 66
Глава 3. Субмикронные пленки TiN и результаты их исследования 67
3.1. Исследование фазового состава пленок на основе TiN 67
3.2. Получение однофазных пленок TiN 72
3.3. Получение пленок TiN барьерного типа 79
3.4. Исследование поверхности пленок TiN методом РФЭС 83
Выводы 92
Список цитируемой литературы 93
Список публикаций по теме диссертации 99
