Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 13
1.1 Современные методы получения эпитаксиальных структур на основе А3В5 13
1.2 Закон Вегарда и образование сверхструктурных фаз в А В 22
1.3 РІК - спектры отражения полупроводников А3В5. Фононный и плазмон — фононный резонансы 37
1.4 Выводы по главе 43
ГЛАВА 2. Объекты и методы исследования 46
2.1. Характеристики объектов по сериям ,... 46
2.2. Рентгенодифракционные методы определения параметров решетки твердых растворов в гетероструктурах на основе А3В5 48
2.2.1 Особенности дифрактометрического метода 49
2.2.2 Особенности рентгенографического метода обратной съемки 54
2.3 ИК - спектрометрия отражения 56
2.4 Атомно — силовая микроскопия (АСМ) наноструктур 62
2.5 Выводы по главе 68
ГЛАВА 3. Экспериментальные результаты рентгеноструктурных и морфологических исследований 70
3.1 Определение параметров твердых растворов с учетом упругих напряжений 70
3.2 Характер закона Вегарда в твердых расторах AlxGai.xAs 73
3.2.1 Твердые растворы AlxGai.xAs в гетероструктурах, выращенные химическим осаждением из газовой фазы металлорганических соединений 73
3.2.2 . Эпитаксиальные твердые растворы, полученные методом жидкофазной эпитаксии 76
3.3 Сверхструктурная фаза AlGaAs2 в МОС - гидридных гетероструктурах. Прецизионное определение параметров кристаллической решетки .83
3.3.1 Дифрактометрические исследования 83
3.2.2 Рентгенографические исследования. Прецизионное определение параметров 86
3.3 Результаты АСМ - исследований морфологии поверхности образцов. 89
3.4 Обсуждение результатов и выводы по главе 94
ГЛАВА 4. ИК - спектры отражения от эпитаксиальных гетероструктур AlxGa, xAs/GaAs(100) 99
4.1 Приближение однофонного резонанса для расчета спектра бинарного кристалла GaAs 99
4.2 Моделирование ИК - спектров в различных моделях. Усовершенствование модели пленка - подложка применительно к многокомпонентным системам 101
4.3 Плазмон - фононные спектры в гомоэпитаксиальных гетероструктурах. Моделирование в адиабатическом приближении и модели пленка - подложка 118
4.4 Выводы по главе 122
Заключение и выводы по диссертации 123
Литература 126
