Введение
Глава 1. СВЧ-плазмотроны в промышленности и науке 11
1.1. Области применения СВЧ-плазмы 11
1.2. Устройство СВЧ-плазмотронов 19
1.3. Характеристики СВЧ-плазмы 28
1.4. Бактерицидное воздействие СВЧ-плазмы 33
1.5. Современные разработки СВЧ-плазмотронов 39
Глава 2. Разработка рабочей камеры СВЧ-плазмотрона 50
2.1. Выбор типа рабочей камеры 50
2.2. Сравнение резонаторных рабочих камер 56
2.3. Расчет и оптимизация резонаторной рабочей камеры СВЧ-плазмотрона 63
2.4. Расчет теплового режима кварцевой разрядной трубки 70
2.5. Расчет электромагнитной безопасности СВЧ-плазмотрона 79
Глава 3. Конструирование СВЧ-плазмотрона 83
3.1. Разработка конструкции рабочей камеры СВЧ-плазмотрона 83
3.2. Расчет устройства связи рабочей камеры с волноводом 86
3.3. Настройка и экспериментальное исследование ЭДХ рабочей камеры СВЧ-плазмотрона 93
3.4. Разработка конструкции СВЧ-плазмотрона 99
3.5. Система СВЧ-питания 103
Глава 4. Экспериментальное исследование работы СВЧ-плазмотрона 111
4.1. Наладка и экспериментальное исследование работы СВЧ-плазмотрона 111
4.2. Исследование энергетических характеристик СВЧ-плазмотрона 116
4.3. Исследование работы СВЧ-плазмотрона на высоком уровне мощности 128
4.4. Исследование работы СВЧ-плазмотрона для асептической обработки поверхности 133
Заключение 138
Список использованных источников 140
