Свойства ионно-модифицированных тонкопленочных и многослойных структур на основе элементов IV группы
Клюй, Микола Иванович. Свойства ионно-модифицированных тонкопленочных и многослойных структур на основе элементов IV группы : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.07.- Киев, 2000.- 34 с.: ил.