Введение
Глава 1. Осаждение оксидных тонкоплёночных покрытий с помощью дуальных МРС 11
1.1. Принцип действия магнетронной распылительной системы 12
1.2. Магнетронная распылительная система с реакционным газом 14
1.3. Работа магнетронной распылительной системы при использовании импульсного питания средней частоты 19
1.4. Осаждение покрытий с помощью дуальных магнетронных распылительных систем 22
1.5. Конструкции дуальных МРС 25
1.6. Основные типы источников питания дуальных МРС 28
1.7 Фотокаталитические плёнки оксида титана 32
1.8. Общая характеристика углеродных покрытий 38
Глава 2. Экспериментальное оборудование и методики исследований 44
2.1. Установка для ионно-плазменного осаждения покрытий «Яшма-5» 44
2.2. Дуальная магнетронная распылительная система 51
2.3. Источник питания дуальной МРС 55
2.4. Измерение толщины и скорости осаждения покрытий 58
2.5. Измерение оптических свойств покрытий
2.5.1. Коэффициент пропускания 59
2.5.2. Коэффициент отражения 60
2.5.3 Коэффициент преломления 60
2.6. Методики измерений физических свойств покрытий 62
2.6.1. Твёрдость покрытий 62
2.6.2. Адгезия 63
2.6.3. Коэффициент трения 65
2.7. Спектры рамановского излучения 65
Глава 3. Осаждение плёнок оксида титана с помощью дуальной МРС 68
3.1. Режимы работы дуальной МРС при реактивном распылении титана 68
3.3. Исследование фотокаталитических свойств плёнок TiO2, полученных с помощью дуальных МРС 76
3.4. Оптические свойства плёнок оксида титана 82
3.5. Оптические свойства плёнок оксида титана, полученных с помощью дуальной МРС 85
Глава 4. Свойства плёнок углерода, полученных с помощью дуальной МРС95
4.1. Получение АПП 95
4.1.1. Химические методы осаждения АПП 95
4.2.1. Физические методы осаждения АПП 96
4.2. Исследование свойств покрытий а-С, полученных с помощью дуальной МРС 102
Заключение 114
Список используемых источников 116
