Введение
Глава 1. Исследование существующих ИМС истокового повторителя и постановка задачи 11
1.1. Особенности работы ИМС истокового повторителя с малогабаритными электретными микрофонами 11
1.2. Сравнительный анализ существующих ИМС истокового повторителя 17
1.3. Сравнительный анализ физической структуры и технологии изготовления существующих ИМС истокового повторителя 24 Основные выводы и постановка задачи 29
Глава 2. Разработка аналитической модели ИМС истокового повторителя 32
2.1. Метод определения параметров схемотехнической модели полевого транзистора в ИМС истокового повторителя 32
2.1.1. Вывод соотношений для определения параметров модели полевого транзистора 37
2.2. Вывод аналитических соотношений для формулирования требований к параметрам элементов ИМС 48
2.2.1. Выбор порогового напряжения полевого транзистора и площади диода смещения 49
2.2.2. Выбор сопротивления нагрузки полевого транзистора 55
2.3. Определение требований к геометрическим размерам канала полевого транзистора 57
Выводы 64
Глава 3. Технологическое и физико-топологическое моделирование разрабатываемой ИМС истокового повторителя 67
3.1. Моделирование технологического маршрута изготовления ИМС истокового повторителя 68
3.2. Исходные параметры диффузионных профилей легирования структуры полевого транзистора 73
3.3. Геометрические размеры структуры полевого транзистора 75
3.4. Учет физических эффектов, происходящих в канале полевого транзистора, и выбор модели для численного расчета 77
3.5. Выбор глубины канала структуры полевого транзистора 81
3.6. Физико-топологическое моделирование полевого транзистора в составе электрической принципиальной схемы ИМС 87
3.6.1. Учет параметров диода смещения при моделировании принципиальной схемы ИМС 88
3.6.2. Моделирование влияния геометрических размеров канала полевого транзистора на коэффициент передачи по напряжению и 91 ток потребления ИМС
3.7. Определение минимального напряжения питания ИМС 98
3.8. Моделирование входного импеданса и выходного сопротивления ИМС 99
3.9. Моделирование напряжения шумов на выходе ИМС 102
3.10. Методика проектирования и выбора параметров элементов ИМС истокового повторителя 104
Выводы 106
Глава 4. Экспериментальное исследование разработанной ИМС истокового повторителя 109
4.1. Измерения электрических параметров ИМС истокового повторителя
4.2. Сравнение результатов экспериментальных исследований и физико-топологического моделирования ИМС 117
4.3. Сравнение результатов экспериментальных исследований и схемотехнического моделирования ИМС 120
Выводы 123
Заключение 125
Список использованной литературы 130
Приложение 1 137
Приложение 2 140
Приложение 3 144
