Введение
Глава 1 Конструктивно-технологические особенности формирования элементной базы полупроводниковых защитных устройств 13
1.1 Защитные устройства 14
1.2 Полупроводниковые защитные устройства 21
1.3 Омические контакты к р- и п-типа проводимости эпитаксиальным слоям GaAs 31
1.4 P-i-n- диоды на основе GaAs 37
1.5 Монолитные СВЧ ограничители для миллиметрового диапазона длин волн 38
Глава 2 Конструкция и технология изготовления p-i-n диода балочного типа на основе GaAs 43
2.1 Введение 43
2.2 Расчет электрофизических параметров GaAs p-i-n диода 47
2. 2. 1 Расчет вольт-амперной характеристики (В АХ) диода 51
2. 2. 2 Разработка топологии диода с использованием САПР AutoCAD 51
2. 3 Технологические особенности изготовления p-i-n диода на основе GaAs 54
2. 3.1 Электрофизические параметры омических контактов к p-i-n. эпитаксиальным структурам на основе GaAs 54
2. 3. 2 Конструктивные особенности изготовления p-i-n диода на основе GaAs 62
2. 2. 3 Определение паразитной емкости балочного p-i-n диода на основе GaAs 67
2. 4 Определение основных электрофизических параметров GaAs p-i-n диода на низкой частоте 69
2.4.1 Измерение емкости экспериментальных p-i-n диодов 74
2.5 Электрофизические параметры планарного GaAs р-І-п диода на СВЧ уровне 75
Выводы 81
Глава 3 Конструкция и технология изготовления монолитного p-i-n диодного ограничителя на основе GaAs для миллиметрового диапазона длин волн 83
3.1 Электрофизические параметры монолитного ограничителя на основе GaAs 85
3.2 Разработка конструкции и технологического маршрута изготовления ограничителя на основе эпитаксиальных структур GaAs 85
3.3 Технология изготовления монолитного ограничителя 93
3.4 Анализ технологического маршрута изготовления ограничителя 97
3.4.1 Жидкостное травление эпитаксиальных структур при создании воздушных мостов диодов в ограничителе 97
3.4.2 Формирование пьедестала ограничителя 100
3.5 Методика проведения измерений последовательного сопротивления и емкости ограничителя 106
3.6 Анализ параметров ограничителя на СВЧ уровне 111
Выводы 115
Заключение 117
Библиографический список 120
