Введение
2. Литературный обзор. 12
2.1. Получение тетраалкоксисиланов особой чистоты 22
2.1.1 . Методы синтеза низших тетраалкоксисиланов 22
2.2. Химические и физико-химические свойства тмос 23
2.3 .Глубокая очистка тмос и тэос 26
3.Методы исследования и анализа 30
4. Экспериментальная часть
4.1. Использованное сырье и материалы 31
4.2. Разработка метода выделения кремнийсодер-жащих компонентов из технологических смесей 32
4.3. Получение тетрахлорида кремния (чхк) особой чистоты 46
4.3.1. Синтез тетрахлорида кремния
4.3.2. Глубокая очистка ЧХК 53
4.4. Получение алкоголятов особой чистоты 64
4.4.2. Получение тетраметоксисилана(тмос) из чхк и метанола 64
4.5. Глубокая очистка тмос 66
4.5.1. Физико-химические свойства тмос 66
4.5.2.Ректификационная очистка тмос 69
4.5.2.1 Равновесие «жидкость -пар» для систем на основе тмос 70
4.5.3. Кристаллизационная очистка тмос 75
4.5.4. Адсорбционная очистка тмос 76
4.4.3.4. Фильтрационная очистка чхк и тмос
5. Разработка методов хранения и транспортировки особо чистых кремниисодержащих соединений . 79
6. Некоторые возможности использования отходов производства «солнечного» кремния 87
7. Исследование методов осаждения пассивирующих слоев 92
7.1. Осаждение слоев с использованием тмос из паровой фазы в присутствии кислорода. 92
7.2. Осаждение слоев с использованием тмос из паровой фазы в присутствии влаги. 97
7.3. Осаждение оксидных покрытий на кварцевые подложки с использованием ЧХК 99
7.4. Рекомендации по улучшению существующего технологического процесса 107
9.Выводы. 109
10.Список литературы. 111
