Введение
1. Методы формирования нсравнотолшинных покрытий и их применение в лазерных системах . 10
1.1 Методы, позволяющие улучшить выходные характеристики лазерных систем 10
1.2 Применение в лазерных резонаторах, многослойных диэлектрических зеркал, с переменным коэффициентом отражения .. 11
1.3 Методы формирования слоев с переменной по поверхности детали толщиной 16
1.4 Контроль толщины слоев во время процесса осаждения.. 21
2. Выбор конструкций тонкопленочных систем, обеспечивающих заданные выходные характеристики лазерных систем 24
2.1 Диэлектрические узкополосные фильтры 36
2.2 Четвертьволновые зеркала 47
2.3 Диэлектрические системы различных конструкций 52
Выводы по главе 2... 56
3. Формирование слоев с переменным профилем толщины при испарении пленкообразующих материалов в вакууме 58
3.1 Планетарное вращение 59
3.2 Одинарное вращение 67
3.3 Факторы, оказывающие влияние на профиль толщины покрытий во время осаждения 79
3.4 Оснастка для формирования в вакууме покрытий с переменным профилем толщины... 93
Выводы по главе 3 97
4. Изготовление и исследование многослойных диэлектрических покрытий с переменным отражением 99
4.1 Используемое вакуумное оборудование 99
4.2 Изготовление многослойных диэлектрических систем 102
4.3 Исследование многослойных диэлектрических систем 106
Выводы по главе 4 131
Заключение 132
Приложение 134
Литература 146
