Технология создания и исследование пьезорезонансных зондовых датчиков для сканирующего зондового микроскопа
Стовпяга, Александр Владимирович. Технология создания и исследование пьезорезонансных зондовых датчиков для сканирующего зондового микроскопа : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Стовпяга Александр Владимирович; [Место защиты: С.-Петерб. нац. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики].- Санкт-Петербург, 2012.- 112 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/3975