Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем
Березина Наталия Вадимовна. Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13.- Москва, 2001.- 122 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/851-X
