Введение
ГЛАВА 1. Проблема контроля чистоты поверхностей изделий в чистых помещениях индустрии высоких технологий 15
1.1. Анализ отрицательного воздействия поверхностных молекулярных загрязнений на эксплуатационные характеристики изделий 15
1.2. Источники и способы переноса загрязнений .25
1.3. Методы измерения поверхностных загрязнений .32
1.4. Классификация уровней молекулярных загрязнений 48
Выводы и постановка задачи диссертации.. 56
Глава 2. Исследование процесса роста молекулярных загрязнений в воздушном потоке .59
2.1. Механизм коагуляции частиц .59
2.2. Разработка математической модели пространственно-однородного процесса коагуляции наночастиц .72
2.3. Компьютерное моделирование динамики роста воздушных молекулярных загрязнений 78
2.4. Экспериментальное исследование поведения воздушных молекулярных загрязнений .86
ВЫВОДЫ .103
ГЛАВА 3. Исследование механизмов образования mмолекулярных загрязнений на поверхности изделий 105
3.1. Теоретические основы механизма образования поверхностных молекулярных загрязнений 105
3.2. Стадия зарождения островков 110
3.3. Стадия независимого роста 116
3.4. Трехмерный рост пленки .122
Выводы .126
ГЛАВА 4. Методика приготовления исследуемых образцов .128
4.1. Подготовка исследуемых образцов 128
4.2. Методика определения поверхностных молекулярных загрязнений 140
4.3. Анализ экспериментальных результатов 143
4.4. Контроль качества обеспечения чистоты поверхностей 147
4.5. Методика контроля требуемого уровня чистоты поверхностей .150
ВЫВОДЫ 165
ГЛАВА 5. Разработка методик для экспериментальной оценки характеристик поверхностных молекулярных загрязнений 167
5.1. Методы оценки толщины молекулярной пленки на поверхности. 167
5.1.1. Расчетный метод оценки толщины молекулярных загрязнений...168
5.1.2. Экспериментальный метод оценки толщины молекулярных загрязнений 174
5.1.3. Экспериментальная оценка влияния толщины поверхностных молекулярных загрязнений на изменение коэффициента светопропускания элементов оптики 179
5.2. Методика определения химического состава поверхностных молекулярных загрязнений 183
5.3. Экспериментальное исследование динамики роста поверхностных молекулярных загрязнений 194
5.4. Количественная оценка молекулярных загрязнений методом смывов и протирок 197
5.5. Методика оценки биологической нагрузки .201
Выводы .215
Заключение 217
Список литературы
