Введение
ГЛАВА I. ОСНОВНЫЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ТЕРМИЧЕСКОГО ОКИСЛЕНИЯ КРЕМНИЯ
1.1. Кинетика термического окисления кремния в кислороде и в водяном паре V
1.2. Классические модели процесса термического окисления кремния 16
1.3. Новые модели термического окисления кремния. Природа диффундирующих частиц при окислении в различных окислительных средах 23
1.4. Влияние внешнего электрического поля на окисление металлов и полупроводников 35
ГЛАВА II. ХАРАКТЕРИСТИКА ИСХОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ И УСТАНОВОК
2.1. Исходные материалы и установки 40
2.2. Конструкция ячейки и методика исследования влияния электрического поля на кинетику и механизм термического окисления кремния 46
ГЛАВА III. ЗАКОНОМЕРНОСТИ ТЕРМИЧЕСКОГО ОКИСЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПОСТОЯННОМ И ПЕРЕМЕННОМ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОЛЯХ
3.1. Влияние постоянного электрического ПОЛЯ на термическое окисление кремния в атмосфере водяного пара 49
3.2. Влияние постоянного электрического ПОЛЯ на процесс термического окисления кремния в сухом кислороде
3.3. Природа частиц, определяющих процесс термического окисления кремния в водяном
паре и сухом кислороде 76
3.4. Влияние переменного электрического поля на термическое окисление кремния 82
3.5. Взаимное каталитическое влияние поверхностей кремния при дистанционном окислении в структуре & -${ в атмосфере влажного кислорода 95
3.6. Свойства оксидных пленок, полученных при термическом окислении кремния в постоянном и переменном электрических полях НО
3.7. Механизм термического окисления кремния 115
3.8. Перспективы исследования топохимических реакций в электрическом поле для расшифровіш механизма процессов окисления полупроводников и металлов 119
ВЫВОДЫ 121
