Введение
ГЛАВА 1 Методы контроля толщины слоев двухслойных проводящих материалов
1.1 Основные понятия в области толщинометрии покрытий 9
1.2 Методы разрушающего контроля толщины покрытий и слоев 13
1.3 Методы неразрушающего контроля толщины покрытий и слоев ... 27
1.4 Термоэлектрический метод контроля толщины слоев 38
Выводы по первой главе 40
ГЛАВА 2 Способы реализации термоэлектрического метода контроля толщины слоев 42
2.1 Виды тепловых полей в двухслойных материалах, обеспечивающих совпадение границы раздела слоев с изотермическими поверхностями 42
2.2 Контроль толщины слоев плоских двухслойных образцов при двухстороннем доступе к материалу 59
2.3 Контроль толщины слоев плоских двухслойных образцов при одностороннем доступе к материалу 65
Выводы по второй главе 69
ГЛАВА 3 Моделирование тепловых полей в плоских двухслойных образцах 70
3.1 Математическая модель теплового поля в двухслойном образце, расположенном на массивной плите с большой теплопроводностью 70
3.2 Имитационное физическое моделирование теплового поля в двухслойном материале с одинаковыми теплопроводностями слоев
3.3 Имитационное физическое моделирование теплового поля в двухслойном материале с разными теплопроводностями слоев 87
Выводы по третьей главе 98
ГЛАВА 4 Источники погрешностей при термоэлектрической толщинометрии 99
4.1 Явления, возникающие при несовпадении границы раздела слоев материалов с изотермической поверхностью 99
4.2 Использование теплового экрана с целью повышения точности и локальности измерения толщины слоя 112
4.3 Анализ метода контроля толщины слоя 117
4.4 Анализ погрешностей предложенного метода контроля 121
4.5 Экспериментальные исследования плоских образцов двухслойных материалов 133
4.5.1 Условия проведения экспериментов и объекты исследований... 133
4.5.2 Определение постоянной времени изменения теплового поля в образцах 135
4.5.3 Проведение многократных измерений 139
4.5.4 Изменение колебаний термоэлектрической способности в малой зоне поверхности биметаллической ленты 140
4.5.5 Изменение термоэлектрической способности по длине 141
биметаллических лент
4.5.6 Определение толщины слоев биметаллической ленты 143
Выводы по четвертой главе 147
Заключение 148
Список использованных источников
