Введение
Глава 1 Необходимость повышения точности контроля температуры и неравномерности температурного поля в печах и термокамерах 9
1.1 Температурное поле в термокамерах и печах 9
1.2 Требования к неравномерности температурного поля в термокамерах и печах для механических испытаний материалов 10
1.3 Требования к неравномерности температурного поля при термообработке сталей 14
1.4 Требования к неравномерности температурного поля при термообработке алюминиевых сплавов 22
1.5 Требования к контролю температурного поля в термокамерах, используемых в полупроводниковой промышленности 28
Выводы 32
Глава 2 Метрологические характеристики термопреобразователей 34
2.1 Термоэлектрические преобразователи температуры 34
2.2 Погрешности термопар, вызванные их термоэлектрической неоднородностью 36
2.3 Погрешности, обусловленные нестабильностью температуры свободных концов термопары 59
Выводы 65
Глава 3 Способы повышения точности измерения неравномерности температурного поля в печах и термокамерах 66
3.1 Расчет погрешностей контроля неравномерности температурного поля двумя термопарами 66
3.2 Уменьшение погрешности измерения неравномерности температурного поля индивидуальной градуировкой термопар 71
3.3 Конструктивные способы повышения точности измерения неравномерности температурного поля в печах и термокамерах 73
3.4 Трехэлектродная термопара 77
3.5 Дифференциальный метод измерения разности температур 80
3.6 Термоэлектрическая неоднородность проволок термопар 84
Выводы: 93
Глава 4 Исследование термоэлектрической неоднородности термоэлектрода термопары на примере алюмелевой проволоки 95
4.1 Задача экспериментального исследования термоэлектрической неоднородности термоэлектрода термопары на примере алюмелевой проволоки 95
4.2 Экспериментальное исследование локальной термоэлектрической неоднородности алюмелевого провода, применяемого для изготовления термопар 97
4.3 Экспериментальное исследование протяженной термоэлектрической неоднородности алюмелевой проволоки, применяемой для изготовления термопар 108
4.4 Математическая обработка результатов эксперимента и их графическая интерпретация
4.5 Анализ полученных результатов 118
Глава 5 Многопроволочные термоэлектроды, характеристики их термоэлектрической неоднородности и применение много проволочных термоэлектродов в дифференциальных термопарах 120
5.1 Целесообразность применения много проволочных термоэлектродов в термопарах
5.2 Термоэлектрическая неоднородность многопроволочных термоэлектродов термопар 120
5.3 Модификации дифференциального метода контроля неравномерности температурного поля в термокамерах и печах 131
Выводы: 136
Глава 6 Исследование термоэлектрической неоднородности многопроволочного термоэлектрода термопары на примере термоэлектродов, составленных из отрезков алюмелевой проволоки 137
6. 1 Экспериментальное исследование протяженной термоэлектрической неоднородности многопроволочных термоэлектродов, составленных из отрезков алюмелевой проволоки и влияния на точностные характеристики термопар замены однопроволочных термоэлектродов многопроволочными .137
6.2 Математическая обработка результатов эксперимента с многопроволочными термоэлектродами и их графическая интерпретация 138
Заключение 143
Список использованных источников . 146
Приложения 154
