Введение
Глава 1.Экоперимента...:.1. ...29
1.1. Первичные эксперименты. ; .29
, 1.2. Экспериментальная установка .31
І.ЗІ Вольтамперные шэнергетические характеристики разряда. 35
1.41 Экспериментальные исследования, проведенные другими; авторами ? .. 41"
1.5; Продольное электрическое поле вшоложительном столбе. разряда ...45:
1.6: Радиальныераспределенияіинтенсивностиизлучения, разряда ... ..49-
г 1-.6;Г. Теоретическиепредпосылкшк эксперименту ..;... .50
1.6.2. Техника эксперимента . 54
Г.6.3: Результаты измеренийрадиальныхраспределений интенсивностишзлучения разряда. 155.
1.7. Безэлектродныивысокочастотньш разряд в смесях инертньгх газов с хлором 61
: 1.8І Заключение к главе Т ...70
Рлава-2. Экоперименталъное определение параметров? плазмы тлеющее разряда низкого? давлениям ємеєяхинертнббєгазов о хлором 72
.- 2". 1. Определение степени диссоциации молекул хлора;. 73
2.ГЛ. Расчет коэффициента поглощения УФ излучения;; молекулярным хлором; .74
2.1.2. Эксперименты по определению степени диссоциации молекул СІ2 ...79
2.2. Определение концентрации и температуры электронов .84
2.2.1. Метод измерения;концентрации итемпературы электронов 84
2.2.2. Априорные оценки концентрации и температуры электронов :... 96
2.2.3. Результаты измерений концентрации и температуры электронов .106
2.3. Экспериментальные измерения температуры газа. 112
2.3.1. Метод измерения температуры газа :..113
2.3.2. Результаты экспериментов по измерению температуры газа 119
2.4. Заключение к главе 2 122
Глава 3. Анализ плазмохимических процессов в разрядах всмеси инертных газов с хлором и подготовка к их моделированию 124
3.1. Термическая диссоциация! 124
3.2. Диссоциация молекулы С12 электронным ударом 131
3.3. Плазмохимические и фотопроцессы распада молекул хлора 139
3.4. Температурная зависимость прилипания электронов к молекуламхлора 143
3.5. Атомная рекомбинация в объеме плазмы и на стенках разрядного прибора Г53
3.6. Ион-ионная рекомбинация и*перезарядка. Оценка ионного состава 156
3.7. Коэффициент потерь энергии электрона при<столкновениях в ксеноне, хлоре и их смеси 160
3.8. Оценка колебательной температуры и степени диссоциации дляфазрядов в смесях хлора с инертным газом 169
3.9. Обзор моделей положительного столба тлеющего разряда в электроотрицательных газах 182
3.10. Заключение к главе 3 206
Глава 4. Аналитико-вычислительное моделирование 209
4.1. Предварительное моделирование — эволюционная модель 210
4.2. Влияние нелокальности ФРЭЭ 224
4.3. Уравнения стационарной модели 231
4.4. Первый вариант модели: максвелловская ФРЭЭ 237
4.5. Второй вариант модели 245
4.6. Третий вариант модели 269
4.7. Заключение к главе 4 288
Заключение. основные результатььработы 291
Список литературы
