Введение
1 Литературный обзор 11
1.1 Прозрачные проводящие оксиды 11
1.1.1 Методы получения прозрачных проводящих оксидов 11
1.1.2 Структура и морфология ппо 23
1.1.3 Электрические свойства ппо 30
1.1.4 Оптические свойства ппо 40
1.2 Прозрачные проводящие магнитные оксиды 46
1.2.1 Особенности структуры и морфологии ппмо 47
1.2.2 Магнитные свойства ппмо 50
1.3 Применения тонких ппо и ппмо пленок 52
1.4 Выводы по литературному обзору 53
2 Научное оборудование и методики для проведения синтеза и исследования тонких пленок 54
2.1 Технологическое оборудование для синтеза тонких пленок 54
2.2 Научное оборудование и методики для исследования морфологии и структурных свойств тонких пленок 56
2.3 Научное оборудование и методики для исследования электрических свойств тонких пленок 57
2.4 Научное оборудование и методики для исследования оптических свойств тонких пленок 59
2.5 Научное оборудование и методики для исследования магнитных свойств тонких пленок 60
3 Исследования пленок оксида индия полученных автоволновым окислением 61
3.1 Особенности метода автоволнового окисления для получения тонких пленок оксида индия 61
3.2 Структура и морфология пленок оксида индия 62
3.3 Электрические свойства пленок оксида индия 66
3.4 Оптические свойства пленок оксида индия 67
3.5 Сравнительный анализ и предполагаемый механизм автоволнового окисления 69
4 Исследования влияния фотонного облучения и температуры на оптоэлектронные свойства in2o3 тонких пленок 71
4.1 Температурная зависимость электрического сопротивления пленок оксида индия 71
4.2 Динамическое изменение сопротивления пленки оксида индия в зависимости от фотооблучения и температуры 73
4.3 Релаксация коэффициента пропускания и электрического сопротивления пленок оксида индия после фотооблучения 75
4.4 Индуцированный при помощи уф облучения переход металл – полупроводник в тонких пленках оксида индия 79
5 Композитные fe – in2o3 и fe3o4 - zno тонкие пленки, полученные твердофазным синтезом 84
5.1 Особенности синтеза тонких композитных fe – in2o3 пленок 84
5.2 Структурные свойства тонких композитных fe – in2o3 пленок 86
5.3 Намагниченность и сопротивление при синтезе тонких композитных fe –in2o3 пленок 90
5.4 Структурные свойства тонких композитных fe3o4 – zno пленок 91
5.5 Намагниченность тонких композитных fe3o4 – zno пленок 95
Заключение 97
Приложение 1 101
Литература 102
