Тонкопленочные микросхемы на основе алюминия и его оксидов для криогенных температур
Короткевич, Александр Васильевич. Тонкопленочные микросхемы на основе алюминия и его оксидов для криогенных температур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники.- Минск, 2000.- 24 с.: ил. РГБ ОД, 9 00-2/2082-3