Управление процессом выращивания монокристаллов германия на основе контактного метода измерения
Саханский Сергей Павлович. Управление процессом выращивания монокристаллов германия на основе контактного метода измерения : диссертация ... доктора технических наук : 05.13.06 / Саханский Сергей Павлович; [Место защиты: Сиб. аэрокосм. акад. им. акад. М.Ф. Решетнева].- Красноярск, 2009.- 246 с.: ил. РГБ ОД, 71 09-5/413
