Введение
ГЛАВА 1. Фононные кристаллы на поверхностных акустических волнах. Периодические доменные структуры в сегнетоэлектриках. Свойства сегнетоэлектриков. Тонкопленочные акустоэлектронные приборы (обзор) 12
1.1 Фононные кристаллы на поверхностных акустических волнах 12
1.2 Перестраиваемые фононные кристаллы 18
1.3 Периодические доменные структуры в сегнетоэлектрических монокристаллах . 22
1.4 Акустоэлектронные устройства на основе слоистых структур 25
1.4.1 Поверхностные акустические волны в слоистых структурах 26
1.4.2 Технология получения тонких пленок 31
1.5. Индуцированный пьезоэффект в параэлектриках 36
1.5.1 Свойства сегнетоэлектрических пленок 38
1.5.2 Методики измерений характеристик сегнетоэлектрических свойств 41
Выводы к главе 1 43
ГЛАВА 2. Математическая модель распространения упругих волн в управляемом пьезометаматериале 46
2.1 Упругие волны в слоистых средах 47
2.1.1 Зависимость АЧХ пьезометаматериала от управляющего напряжения 49
2.2 Распространение упругих волн в электромагнитоупругой среде в присутствии электрического поля 52
2.2.1 Распространение волн в двух полупространствах с различными пьезоэлектрическими свойствами 56
2.3 Распространение акустоэлектрических волн в пьезоэлектрических слоях с периодически изменяющимися свойствами 59
2.4 Конечно-элементное моделирование пьезометаматериала 64
2.4.1 Моделирование и численное исследование характеристик слоистой структуры
2.4.2 Моделирование распространения и взаимодействия поверхностных акустических волн в периодической структуре 68
2.4.3 Оценка влияния краевых эффектов на дисперсионные характеристики метаматериала з
Выводы к главе 2 73
ГЛАВА 3. Экспериментальное исследование свойств сегнетоэлектрических пленок
3.1 Изготовление экспериментальных образцов тонких пленок титаната бария стронция на диэлектрической подложке 75
3.1.1 Кристаллографические свойства пленок титаната стронция на диэлектрической подложке 75
3.2 Экспериментальное измерение диэлектрических характеристик сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция на диэлектрической подложке 77
3.3 Методика определения электроупругих свойств сегнетоэлектрических пленок 83
3.3.1 Определение диэлектрических свойств сегнетоэлектрической пленки 86
3.3.2 Расчет упругих и пьезоэлектрических модулей пленки Ba0.3Sr0.7TiO3 по конечно-элементной модели 88
Выводы к главе 3 90
ГЛАВА 4. Исследование возможности использования управляемого пьезометаматериала в перестраиваемых фильтрах на поверхностных акустических волнах 91
4.1 Выбор конструкции полосно-пропускающего фильтра на ПАВ 91
4.2 Расчет и оптимизация параметров ПАВ фильтра 92
4.3 Результаты расчета 95
Выводы к главе 4 98
Заключение 99
Список литературы
