Упругие чувствительные элементы микромеханических приборов : динамика и надежность
Лобачева Анна Михайловна. Упругие чувствительные элементы микромеханических приборов : динамика и надежность : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.05.- Санкт-Петербург, 2007.- 115 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/1794