Усовершенствование и унификация базовой имплантационной технологии фотодиодов из антимонида индия
Максимов, Александр Дмитриевич. Усовершенствование и унификация базовой имплантационной технологии фотодиодов из антимонида индия : диссертация ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Максимов Александр Дмитриевич; [Место защиты: Моск. гос. ун-т тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова].- Москва, 2012.- 138 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-2/443
