Устойчивость атомарной структуры оксида кремния после радиационно-термической обработки МОП приборов
Протопопов, Григорий Александрович. Устойчивость атомарной структуры оксида кремния после радиационно-термической обработки МОП приборов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Протопопов Григорий Александрович; [Место защиты: Нац. исслед. ядерный ун-т].- Москва, 2011.- 106 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/1693
