Введение
Глава 1 Влияние электростатических разрядов на полупроводниковые изделия 9
1.1 Природа возникновения электростатического заряда в процессе производства 9
1.2 Модели электростатических разрядов 11
1.3 Виды и механизмы отказов полупроводниковых изделий под воздействием электростатических разрядов 14
1.3.1 Катастрофические отказы 15
1.3.2 Скрытые дефекты 17
1.4 Влияние электростатических разрядов на низкочастотный шум полупроводниковых изделий 19
1.4.1 Общие сведения о низкочастотных шумах полупроводниковых изделий 19
1.4.2 Модели возникновения низкочастотного шума в полупроводниковых изделиях 23
1.4.3 Воздействие ЭСР на биполярные транзисторы 28
1.4.4 Влияние ЭСР на цифровые биполярные ИС 30
1.4.5 Воздействие ЭСР на МДП приборы 31
Выводы к Главе 1 34
Глава 2 Исследование воздействия электростатических разрядов на низкочастотный шум интегральных схем 35
2.1 Установки, используемые для исследования интегральных схем 35
2.1.1 Установка для испытаний изделий электронной техники на стойкость к воздействию разрядов статического электричества 35
2.1.2 Метод измерения низкочастотного шума 37
2.2 Интегральные схемы типа К176ЛП11 38
2.3 Интегральные схемы типа HEF4023B 45
2.4 Интегральная схема типа HCF4011BE 55
Выводы к главе 2 61
Глава 3 Методы диагностики интегральных схем по надежности 62
3.1 Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий 62
3.2 Способ сравнительных испытаний на надежность партий интегральных схем 66
3.3 Способ сравнительных испытаний на надежность партий полупроводниковых изделий с использованием измерения НЧШ 69
Выводы к главе 3 72
Основные результаты и выводы 73
Список литературы
