Влияние природы полимерной матрицы, фоточувствительного генератора кислоты и физических факторов на литографические свойства химически усиленных фоторезистов
Джонс, Михаил Михайлович. Влияние природы полимерной матрицы, фоточувствительного генератора кислоты и физических факторов на литографические свойства химически усиленных фоторезистов : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.06 / Джонс Михаил Михайлович; [Место защиты: Нижегор. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского].- Нижний Новгород, 2012.- 126 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-2/71
