Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана
Панькин Николай Александрович. Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Панькин Николай Александрович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана].- Саранск, 2008.- 118 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-1/484