Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния
Митин Дмитрий Михайлович. Влияние условий осаждения в процессе магнетронного распыления на структуру и свойства наноразмерных пленок аморфного кремния: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.16.08 / Митин Дмитрий Михайлович;[Место защиты: ФГБОУ ВО Тамбовский государственный технический университет], 2017