Введение
Глава 1. Основные сведения о состоянии вольфрама и золота в кремнии 7
1.1 Влияние атомов вольфрама на свойства кремния 7
1.2 Механизмы диффузии атомов золота в кремнии 9
1.3 Растворимость золота в электрически активном состоянии 9
1.4 Энергетические уровни атомов золота в кремнии 10
Глава 2. Экспериментальная часть... 33
2.1 Классификация и способ приготовления образцов 33
2.2 Методы измерений параметров материала 34
2.3 Техническое воплощение метода СВЧ-поля 36
2.4 Достоверность измеряемых величин ВРФ 39
Глава 3. Электрофизические свойства кремния после вхождения примесей 42
3.1 Электрофизические свойства исходного и термообра-ботанного кремния со свободной поверхностью 42
3.2 Электрофизические свойства термообработанного кремния при наличии на поверхности слоя вольфрама 44
3.3 Электрофизические свойства образцов кремния, прошедших диффузию золота в исходный кремний со свободной поверхностью 45
3.4 Электрофизические свойства образцов кремния, прошедших диффузию золота в предварительно термообработанный кремний со свободной поверхностью 46
3.5 Электрофизические свойства образцов кремния, прошедших диффузию золота предварительно термообработанный кремний с поверхностным слоем вольфрама 48
3.6 Электрофизические свойства образцов кремния, прошедших диффузию золота в исходный кремний при наличии на поверхности слоя вольфрама 50
Глава 4. Взаимовлияние примесей 54
4.1 Анализ свойств исходного и термообработанного кремния со свободной поверхностью 54
4.2 Анализ свойств термообработанного кремния при наличии на поверхности слоя вольфрама 56
4.3 Анализ свойств образцов кремния, прошедших диффузию золота в исходный кремний со свободной поверхностью 59
4.4 Анализ свойств образцов кремния, прошедших диффузию золота в предварительно термообработанный кремний со свободной поверхностью 75
4.5 Анализ свойств образцов кремния, прошедших диффузию золота в предварительно термообработанный кремний с поверхностным слоем вольфрама 81
4.6 Анализ свойств образцов кремния, прошедших диффузию золота в исходный кремний при наличии на поверхности слоя вольфрама 90
4.7 Сравнительный анализ электрофизических свойств образцов кремния, принадлежащих к разным группам 107
4.8 Термостабильность и радиационностоикость удельного сопротивления и времени жизни носителей в кремнии, легированном золотом и вольфрамом 123
Выводы 125
Литература 131
