Выращивание квазиоднородных слоев AlxGa1-xAs жидкофазной эпитаксией с подпиткой кристаллическим источником
Патаридзе Зураб Гивиевич. Выращивание квазиоднородных слоев AlxGa1-xAs жидкофазной эпитаксией с подпиткой кристаллическим источником : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Новочеркасск, 2003.- 163 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/3910-8