Введение
Глава 1. Высокочастотные системы для ёмкостного возбуждения плазмы 11
1.1 Высокочастотный ёмкостной разряд 11
1.1.1 Применение высокочастотного ёмкостного разряда 11
1.1.2 Источники высокочастотной плазмы 14
1.1.2.1 Основные параметры плазм ы 14
1.1.2.2 Высокочастотные реакторы планарного типа 16
1.1.2.3 Режим постоянного напряжения 18
1.1.2.4 Особенности высокочастотного ёмкостного разряда 20
1.1.2.5 Магнетронный разряд 22
1.1.2.6 Источники плазмы для высокочастотного реактивно-ионного и химического травления 26
1.1.2.7 Источники атмосферной ёмкостной плазмы 28
1.2 Структура и состав высокочастотных систем ёмкостного возбуждения плазмы 31
1.2.1 Анализ высокочастотных систем 31
1.2.1.1 Структура высокочастотной системы 31
1.2.1.2 Примеры реализации высокочастотных систем 34
1.2.2 Высокочастотные генераторы 39
1.2.3 Цепи высокочастотного согласования 41
1.2.4 Схемы замещения плазменных нагрузок 46
1.2.5 Проводники на высокой частоте 49
1.2.6 Измерение мощности на высокой частоте 53
Выводы к Главе 1 54
Глава 2. Высокочастотные нагрузочные системы 55
2.1 Анализ линий передачи электромагнитной энергии 55
2.2 Цепи согласования высокочастотных нагрузочных систем для ёмкостного возбуждения плазмы 60
2.2.1 Исследование и расчёт П-контура 60
2.2.1.1 Определение основных параметров контура 60
2.2.1.2 Исследование области существования параллельного и последовательного резонансов 63
2.2.2 Расчёт параллельного колебательного контура с неполным включением 66
2.2.2.1 Контуры с неполным включением индуктивности со стороны генератора и ёмкости со стороны нагрузки 66
2.2.2.2 Контуры с неполным включением ёмкости со стороны генератора и индуктивности со стороны нагрузки 69
2.2.3 Цепь согласования с делением высокочастотной мощности 71
2.3 Ёмкостные плазменные нагрузки 72
2.3.1 Распылительный магнетрон 72
2.3.1.1 Исследование зависимости высокой частоты и постоянного смещения от активной мощности 72
2.3.1.2 Расчёт схемы замещения распылительного магнетрона на высокой частоте 75
2.3.2 Плазменный конденсатор с обкладками сложной геометрии 75
2.3.3 Моделирование нагрузочной системы 78
Выводы к Главе 2 79
Глава 3. Исследование активного сопротивления проводников на высокой частоте 80
3.1 Сопротивление электрических проводников с покрытиями на высокой частоте 80
3.1.1 Определение активного сопротивления проводника с покрытием 80
3.1.2 Анализ выражения для сопротивления проводника с покрытием и обсуждение полученных результатов 85
3.1.3 Расчёт разъёмного контактного соединения на высокой частоте 91
3.2 Методика расчёта поперечного сечения электрического провода 94
3.2.1 Особенности теплового расчёта проводников на высокой частоте..94
3.2.2 Численная обработка результатов теории 95
Выводы к Главе 3 99
Глава 4. Измерение электрической мощности в высокочастотных нагрузочных системах 1 00
4.1 Особенности схемного решения ваттметра 100
4.2 Основные характеристики коаксиальной линии передачи 103
4.3 Расчёт датчиков тока и напряжения 105
4.3.1 Датчики тока 105
4.3.1.1 Измерение электрического тока в коаксиальном волноводе 105
4.3.1.2 Датчики тока-петля и катушка связи 107
4.3.1.3 Компоновка датчиков тока с учётом скин-эффекта 108
4.3.1.4 Анализ эквивалентной схемы датчика тока 110
4.3.2 Датчики напряжения 112
4.3.2.1 Измерение электрического напряжения
в коаксиальном волноводе 112
4.3.2.2 Использование датчика тока в качестве ёмкости RC- делителя. Расчёт сопротивления делителя
4.3.3 Анализ последовательного включения
датчиков тока и напряжения 116
4.4 Разработка методики расчёта ваттметра 119
4.4.1 Расчёт коаксиальной линии передачи 119
4.4.1.1 Расчёт линии передачи по мощности 119
4.4.1.2 Расчёт линии передачи по току 122
4.4.2 Расчёт амплитудного детектора и высокочастотного фильтра 122
4.4.2.1 Амплитудный детектор 122
4.4.2.2 Чувствительность ваттметра 125
4.4.2.3 Фильтр высокой частоты 125
4.4.3 Методика расчёта ваттметра 126
4.4.4 Экспериментальное исследование ваттметра 129
Выводы к Главе 4 130
Заключение 132
Список литературы
