Высокотемпературный плазмохимический гидролиз тетрафторида кремния, содержащегося в сбросных газах производства фтороводорода
Кузьминых, Сергей Анатольевич. Высокотемпературный плазмохимический гидролиз тетрафторида кремния, содержащегося в сбросных газах производства фтороводорода : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.17.02 / Том. политехн. ун-т.- Северск, 2000.- 23 с.: ил. РГБ ОД, Др-03/8