Введение
ГЛАВА I ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ 8
I. Физико-химические свойства метастабильных атомов инертных газов 8
2. Методы получения и детектирования метастабильных атомов инертных газов 13
3. Взаимодействие метастабильных атомов инертныхгазов с поверхностью твердого тела 20
ГЛАВА II. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ 34
I. Приготовление и очистка рабочих газов 34
2. Приготовление полупроводниковых пленок 35
3. Нанесение и определение весовых толщин дисперсных пленок золота .** 37
4 Измерение малых токов и малых изменений сопротивления полупроводниковых пленок 38.
ГЛАВА III. ВЛИЯНИЕ МЕТАСТАБИЛЬНЫХ АТОМОВ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СТРУКТУР ДИСПЕРСНЫЙ МЕТАЛЛ - ПОЛУПРОВОДНИК 44
1. Изменение электропроводности структур дисперсный металл - полупроводник под действием мета стабильных атомов инертных газов и полупроводниковый метод их детектирования 44
2. Оценка влияния паразитных факторов на работу полупроводникового детектора. Выбор источника активных частиц 53
ГЛАВА IV. ПЕРЕДАЧА ЭНЕРГИИ В СИСТЕМЕ МЕТАСТАЕИЛЬВЫЕ АТОМЫ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ - ДИСПЕРСНЫЙ МЕТАЛЛ - ПОЛУПРШОДНИК 62
1. Дезактивация метастабильных атомов инертных газов на поверхности полупроводников и диэлектриков, активированных микрокристаллами металла 63
2. Электронные явления при взаимодействии метастабильных атомов инертных газов со структурами дисперсный металл - полупроводник. Роль структуры нанесенной пленки металла 73
3» Электронные свойства контактов золото - окись цинка и возможный механизм изменения электропроводности структур дисперсный металл - полупроводник под действием метастабильных атомов инертных газов 81
4, Влияние температуры и предварительной адсорбции химически активных газов на взаимодействие метастабильных атомов инертных газов со структурами дисперсный металл - полупроводник 91
5 Влияние освещения на взаимодействие метастабильных атомов инертных газов со структурами дисперсный металл - полупроводник 103
6. Влияние метастабильных атомов инертных газов на электропроводность структуры дисперсное золото - двуокись титана 114
ВЫВОДЫ 121
ЛИТЕРАТУРА... .124
