Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13,5 нм)
Малыхин, Евдоким Михайлович. Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13,5 нм) : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Малыхин Евдоким Михайлович; [Место защиты: Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова].- Москва, 2011.- 128 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-1/926
