Введение
1 Моделирование распространения поверхностных акустических волн в системе с неоднородностями, сравнимыми с длиной волны 18
1.1 Введение 18
1.2 Основные уравнения и модели. 18
1.3 Рассеяние ПАВ на системе топографических неоднородностей, сравнимых с длиной волны 26
1.3.1 Рассеяние ПАВ на металлических отражателях в зависимости от их ширины 26
1.3.2 Рассеяние ПАВ на периодической отражающей структуре из металлических отражателей в зависимости от их высоты 31
1.3.3 Рассеяние на периодической последовательности выступов на поверхности кристалла 42
1.3.4 Рассеяние на периодической последовательности прямоугольных канавок 44
1.4 Выводы к главе 1 48
2 Теоретическое и экспериментальное исследование радиочастотных идентификационных меток на поверхностных акустических волнах для диапазона частот 5650–6425 ГГЦ 50
2.1 Введение 50
2.2 Моделирование радиочастотных идентификационных меток на поверхностных акустических волнах 51
2.3 Верификация разработанной конструкции СВЧ РИМ на ПАВ для диапазона частот 5650–6425 МГц 59
2.4 Экспериментальное исследование СВЧ РИМ на ПАВ в диапазоне частот 5650–6425 МГц 61
2.4.1 Изготовление экспериментальных образцов 61
2.4.2 Экспериментальное исследование радиочастотных идентификационных меток 63
2.5 Моделирование радиочастотных идентификационных меток на ПАВ с двусторонней конфигурацией отражателей и металлизацией из молибдена 65
2.6 Выводы к главе 2 71
3 Моделирование и экспериментальное исследование прохождения поверхностных акустических волн через фононные кристаллы 72
3.1 Введение 72
3.2 Модель и метод расчета для двумерного фононного кристалла 72
3.3 Результаты моделирования 76
3.4 Экспериментальное исследование двумерных фононных кристаллов 81
3.5 Моделирование прохождения поверхностных акустических волн в одномерном фононном кристалле, полученном с помощью сканирующей зондовой литографии 84
3.5.1 Исследование свойств наноструктур, получаемых с помощью локального анодного окисления 85
3.5.2 Моделирование образования запрещенных зон для ПАВ в рассматриваемых структурах 88
3.6 Выводы к главе 3 92
Заключение 94
Список используемых сокращений 98
Литература
