Введение
Глава 1. Взвешенные частицы в высокочистых летучих веществах .
1.1. Негомогенные примеси - специфический класс примесей в высокочистых веществах.
1.2. Обнаружение частиц в высокочистых веществах и материалах. Развитие методов исследования взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах .
Глава 2. Разработка высокочувствительных методов опреде- ления размеров взвешенных частиц в высокочистых веществах .
2.1. Метод лазерной ультрамикроскопии. 78
2.2. Автоматизированный лазерный анализатор для опре- деления спектра размеров субмикронных частиц в высокочистых летучих веществах методом лазерной ультрамикроскопии .
Глава 3. Снижение пределов обнаружения по размеру и чис- ленной концентрации при определении взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах методом лазерной ультрамикроскопии
3.1. Бесконтактный счетчик ядер конденсации испари- тельного типа
3.2. Счетчик ядер конденсации для определения взвешенных частиц в высокочистых летучих веществах в газовой фазе .
Глава 4. Исследование спектров размеров частиц и их устойчивости в высокочистых летучих веществах .
4.1. Продолжение спектров размеров частиц в кластерную область в высокочистых летучих хлоридах.
4.2. Спектры размеров и источники частиц в высокочистых летучих неорганических гидридах .
Глава 5. Устойчивость парогазовых эмульсий в высокочистых летучих хлоридах .
5.1. Парогазовые эмульсии как возможный вид негомогенных примесей в высокочистых летучих хлоридах. Обнаружение пузырьков субмикронных размеров в высокочистом оксихлориде фосфора.
5.2. Исследование устойчивости парогазовых пузырьков к диффузионному растворению.
Глава 6. Исследование спектров размеров частиц и их устойчивости в транспортных газах
6.1. Спектры размеров и источники частиц в транспортных газах.
6.2. Содержание частиц в высокочистых газах после фильтрации. Исследование эффективности волокнистых и мембранных фильтров в интервале размеров частиц 3 нм — 0,5 мкм
Разработка метода криофильтрации.
Выводы 238
Литература
