Введение
1. Методы, закономерности формирования и особенности микроструктуры нанокомпозитных сверхтвердых покрытий 12
1.1 Ионно-плазменные (PVD) методы нанесения покрытий 13
1.1.1 Магнетронный синтез покрытий 13
1.1.2 Вакуумно-дуговые методы 16
1.1.3 Формирование покрытия на субстрате 18
1.2 Однофазные PVD покрытия на основе TiN - условия синтеза, особенности микроструктуры и свойства 25
1.3 Нанокомпозитные сверхтвердые покрытия - закономерности их формирования и особенности микроструктуры 43
1.3.1 Сверхтвердые нанокомпозитные покрытия n-MeN/a - фаза 45
1.3.2. Сверхтвердые наноструктурные покрытия типа п - MeN/металл 51
1.3.3 Слоистые и столбчатые (игольчатые) наноструктурные сверхтвердые покрытия...56
2. Постановка задач. материалы и методики исследований 61
2.1 Постановка задач диссертации 61
2.2. Материалы и методики исследований 70
2.2.1 Материал исследования 70
2.2.2 Методики исследований 73
3. Фазово-структурное состояние и особенности микроструктуры нанокристаллических покрытий TiN, TiN/Cu, A1N/Cu [160 - 162] 78
3.1 Особенности микроструктуры и упруго-напряженного состояния покрытий TiN...79
3.2 Фазово-структурное состояние нанокомпозитных покрытий n-TiN/Cu, n-AlN/Cu 88
4 Исследование многоэлементных сверхтвердых нанокомпозитных покрытий на основе TiN [161, 175-182] 104
4.1 Исследование многоэлементных нанокомпозитных покрытий с двухуровневой структурой 106
4.2 Особенности микроструктуры и упруго-напряженного состояния многоэлементных нанокомпозитных покрытий 120
4.3 Термическая стабильность микроструктуры и твердости покрытий с двухуровневой структурой 128
4.4 Особенности и термическая стабильность упруго-напряженного состояния нанокомпозитных покрытий 135
Выводы 149
Список использованной литературы 151
