Введение
Глава 1. Состояние вопроса 7
1.1. Современное состояние методов модифицирования поверхности и перспективы развития 7
1.1.1. Методы нанесения покрытий. 8
1.1.2. Современные направления «конструирования» вакуумных ионно-плазменных покрытий 10
1.2. Физико-химические основы процессов азотирования и нанесения покрытий титановых сплавов 21
1.2.1. Диаграмма состояния Ti-N 21
1.2.2. Механизм диффузии атомов внедрения в титане 23
1.3. Структурные особенности процессов азотирования сталей и титановых
сплавов. 28
1.3.1. Внутреннее азотирование сталей и жаропрочных сплавов 28
1.3.2. Особенности термодиффузионного азотирования титановых сплавов 30
1.4. Методы исследования поверхности 32
1.5. Остаточные макронапряжения в вакуумных ионно-плазменных покрытиях. 38
Глава 2. Материалы и методы исследования 48
2.1. Термодиффузионное насыщение титана 48
2.2. Ионное азотирование 48
2.3. Конденсация вакуумных ионно-плазменных покрытий . 48
2.4. Рентгеноструктурный анализ 49
Глава 3. Исследование структурных особенностей формированиямодифицированных слоев при термодиффузионном и ионном азотировании сталей и титановых сплавов . 58
3.1. Термодиффузионное азотирование титана 58
3.2. Ионное азотирование сплава ВТ6 70
3.3. Ионное азотирование сталей ЭИ961 и 12Х18Н10Т 78
Глава 4. Исследование состава, структуры и остаточных напряжений вмногослойных Ti/TiN/Ti... вакуумных ионно-плазменных покрытиях 81
4.1. Исследования текстуры покрытий 81
4.2. Исследование остаточных напряжений в многослойных покрытиях 86
4.3. Исследование остаточных напряжений в монослойных покрытиях 92
4.4. Исследование элементного состава и микроструктуры многослойныхпокрытий 96
Глава 5. Структура многокомпонентных покрытий . 101
5.1. Анализ химического состава многокомпонентых покрытий 101
5.2. Текстуры (Ti,Nb,Me)N покрытий, нанесенных при различных параметрахтехнологии 111
5.3. Анализ структурных особенностей (Ті, Nb,Me)N покрытий в зависимости отпараметров ионно-плазменного процесса 114
5.4. Служебные свойства покрытий 128
Выводы по работе 130
Список литературы 133
