Введение
Глава 1. Исследования адгезии тонких пленок на различных подложках и изучение переходной области пленка-подложка (обзор литературы) 11
1.1. Методы измерения адгезии тонких пленок на различных подложках 13
1.2. Поверхность раздела между двумя контактирующими телами 23
1.3. Вид связи на границе раздела 27
1.4. Изучение факторов, влияющих на величину адгезии тонких пленок к подложкам 33
1.5. Технологии получения пленочных покрытий 40
1.6. Осаждение тонких пленок лазерным методом 42
Глава 2. Величина адгезии пленок (Ni, Си, Al, Pd, Si, InSb, Та205), напыленных лазерным методом на различных подложках (Си, Fe, Si, Si02, Та205, углероде, стекле, ситалле, слюде, фторопласте) 44
2.1. Схема лазерного и термического метода напыления пленок 45
2.2. Схема измерения адгезионной прочности с использованием промежуточного слоя Ni 49
2.3. Величина адгезии для различных пар пленка- подложка 52
Глава 3. Сравнительное исследование структуры переходной области Pd-Si(111) при лазерном и термическом напылении палладия 57
3.1. Результаты, полученные с помощью оже-электронной спектроскопии (ОЭС) 61
3.2. Использование резерфордовского обратного рассеяния (POP) 69
3.2.1. Режим скользящей геометрии 76
3.2.2. Режим каналирования 78
3.3. Результаты, полученные с помощью асимптотической брегговской дифракции (АБД) 82
3.4. Измерения адгезии методом "нормального отрыва" для пары Pd-Si(111) 89
3.5. Сравнительный анализ исследований проведенных POP, ОЭС и АБД для пары Pd-Si(111) 90
Глава 4. Анализ структуры переходной области Аи- Si(111) при изменении плотности потока лазерного излучения и температуры подложки 93
4.1.1. Анализ структуры переходной области Au-Si(111) при изменении плотности потока лазерного излучения 94
4.1.2. Зависимость величины адгезии от плотности потока лазерного излучения 102
4.2.1. Анализ структуры переходной области Au-Si(111) при изменении температуры подложки 103
4.2.2. Зависимость величины адгезии от температуры подложки 110
Глава 5. Структура переходной области Ni-ситалл, Ni- стекло, полученной с помощью резерфордовского обратного рассеяния и величина адгезии пленок никеля 112
Глава 6. Обсуждение механизмов повышенной адгезии при лазерном напылении пленок 117
Основные результаты и выводы 123
Благодарности 125
Список литературы 126
