Активный контроль технологических параметров плазмохимического вакуумного синтеза нанообъектов с использованием тест-образцов

Образцов Денис Владимирович. Активный контроль технологических параметров плазмохимического вакуумного синтеза нанообъектов с использованием тест-образцов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06 / Образцов Денис Владимирович; [Место защиты: Тамб. гос. техн. ун-т].- Тамбов, 2007.- 120 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/5607