Введение
1 Анализ средств измерения линейных перемещений в информационно-измерительных системах 10
1.1 Принципы построения и состояние производства высокоточных информационно-измерительных систем линейных перемещений 10
1.2 Функциональные возможности современных информационно-измерительных систем на основе лазерных интерферометров 17
1.3 Анализ помехоустойчивости информационно-измерительных систем на основе лазерных акустооптических интерферометров 28
2 Теоретическое исследование информационно-измерительных систем на основе лазерных акустооптических интерферометров 35
2.1 Разработка модели информационно-измерительной системы на основе лазерного акустооптического интерферометра 35
2.2 Теоретическое исследование оптических схем информационно-измерительных систем на основе лазерных интерферометров с внешней акустооптической модуляцией 42
2.3 Преобразование сигналов в оптических элементах информационно-измерительных систем 48
2.4 Разработка схем фотоприемных устройств в информационно-измерительных системах на основе акустооптических интерферометров 52
2.5 Исследование преобразования измерительных сигналов в электронном блоке обработки информационно-измерительной системы 57
2.6 Сравнительный анализ оптических схем информационно-измерительных систем на основе лазерных акустооптических интерферометров по помехоустойчивости 78
3 Исследование схемных решений информационно-измерительных систем на основе акустооптического лазерного интерферометра 86
3.1 Разработка и исследование оптической схемы с организованными пространственными реперными точками 86
3.2 Исследование информационно-измерительных систем с абсолютным отсчетом результата измерения перемещений 91
3.3 Исследование оптических схем информационно-измерительных систем на основе акустооптических лазерных интерферометров 95
3.4 Расчет предельно-допустимых эксплуатационных параметров интерферометров в информационно-измерительных системах 107
3.5 Исследование информационно-измерительной системы для измерения отклонений от прямолинейности на основе лазерного акустооптического интерферометра 114
4 Разработка и экспериментальное исследование основных узлов лазерного акустооптического интерферометра 127
4.1 Разработка и экспериментальное исследование акустооптического модулятора 127
4.2 Разработка и исследование электронного блока обработки измерительных сигналов информационно-измерительной системы 135
4.3 Разработка блока согласования сигналов акустооптических интерферометров с системой числового программного управления 146
Основные выводы 156
Литература 158
Приложение 170
