Введение
1. Микромеханические гироскопы - класс информационно-измерительных систем 15
1.1. Конструкции и принцип действия микрогироскопов 15
1.2. Свойства больших систем в переносе на микросистемы 22
1.3. Классификация гироскопических микросистем 26
1.4 База данных чувствительных элементов гироскопическихмикросистем 32
Выводы 34
2. Математическое описание гироскопических микросистем 35
2.1 Описание динамики чувствительных элементов гироскопических микросистем 35
2.2 Элементная база ЧЭ гироскопических микросистем
2.2.1 Упругие элементы подвеса 44
2.2.2 Преобразователи силы и перемещений
2.2.2.1 Электростатические преобразователи силы 55
2.2.2.2 Электростатические преобразователи перемещения 63
2.2.2.3 Эффект Pull-in в электростатических преобразователях 64
2.3 Демпфирование и добротность ЧЭ ГМС 67
2.3.1. Добротность 67
2.3.2 Демпфирование 69
Выводы 72
3. Анализ динамики и измерительных свойств гироскопических микросистем 74
3.1 Инструменты и методы анализа динамики ГМС 74
3.2 Алгоритм экспресс-анализа динамики ГМС 75
3.3 Реализация алгоритма экспресс-анализа динамики ГМС
3.3.1 Модуль расчёта параметров ЧЭ гироскопических микросистем . 77
3.3.2 Библиотека моделирования гироскопических микросистем
3.3.3. Сопоставимый анализ алгоритма экспресс-анализа 81
3.3.4. Пример анализа ГМС 85
Выводы 97
4 Синтез гироскопических микросистем 98
4.1 Обзор методов и инструментов проектирования ГМС 98
4.2 Алгоритм проектирования ГМС 102
4.3. Пример проектирования ГМС 104
Выводы 122
Заключение 124
Список литературы
