Анализ ключевых характеристик методов локальной диагностики полупроводников - метода наведенного рентгеновским пучком тока и рентгеновского флуоресцентного метода

Шабельникова, Яна Леонидовна. Анализ ключевых характеристик методов локальной диагностики полупроводников - метода наведенного рентгеновским пучком тока и рентгеновского флуоресцентного метода : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07, 05.27.01 / Шабельникова Яна Леонидовна; [Место защиты: Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова].- Москва, 2013.- 155 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-1/329