Введение
1. Методы регистрации остаточного шероховатого рельефа на сверхгладкой оптической поверхности (обзор литературы) 15
1.1 Обратное рассеяние лазерного излучения в кольцевом резонаторе и проблема его регистрации 17
1.2 Методы, основанные на регистрации рассеянного оптического излучения 21
1.2.1 Измерения с помощью светомерного шара (интегрирующей сферы) 21
1.2.2 Прямая регистрация излучения, рассеянного в ограниченный телесный угол 24
1.3 Связь характеристик рассеяния оптического излучения с шероховатым рельефом на полированной поверхности диэлектрика 30
1.4 Регистрация рельефа поверхности и оценка его статистических характеристик 33
1.5 Постановка задачи 45
2. Достоверность определения спектральной плотности флуктуации высоты на основе асм-изображений участков поверхности 47
2.1 Влияние собственных шумов атомно-силового микроскопа на трехмерное изображение рельефа 47
2.2 Выбор шага сканирования при регистрации АСМ-изображений 53
2.3. Компенсация искажений, внесенных на стадии сканирования поверхности 58
2.4 Достоверность определения статистических характеристик поверхности 61
2.5. Селекция уединенных выступов с помощью пороговой фильтрации вейвлет-разложений 66
2.5.1 Селекция уединенных выступов 72
2.5.2 Результаты вейвлет-фильтрации уединенных выступов для АСМ-сканов, полученных экспериментально 75
2.6 Выводы 83
3. Выделение анизотропной составляющей шероховатого рельефа оптической поверхности 85
3.1 АСМ - изображения отполированных поверхностей в пространстве Радона 86
3.2 Выбор вейвлета для выделения выступов на изображениях в пространстве Радона 89
3.3 Поиск пороговых условий для фильтрации вейвлет-разложения
3.3.1 Результаты фильтрации для модели поверхности, содержащей хаотический рельеф с одной царапиной 97
3.3.2 Выделение линейно структурированных дефектов на АСМ-сканах поверхности ситалловых подложек
3.4 Алгоритм селекции характерных особенностей АСМ-изображений поверхности 106
3.5 Выводы 108
4. Результаты разделения характерных особенностей топографии поверхности подложек и зеркал 110
4.1 Корреляция среднеквадратических шероховатостей подложек и сформированных на них интерференционных покрытий 111
4.2 Расчет углового распределения рассеянного оптического излучения 115
4.3 Программно-математическое обеспечение для селекции характерных особенностей рельефа и расчета рассеивающих свойств 120
4.4 Сравнительный анализ рассеивающих свойств подложек и зеркал кольцевых гелий-неоновых лазеров 126
4.4.1 Прямые измерения полного интегрального рассеяния и его оценка по результатам АСМ-сканирования 132
4.5 Выводы 136
Заключение 138
Список литературы
