Введение
1 Литературный обзор 9
1.1 Атомно-силовая микроскопия 9
1.2 Аналитический обзор методик анализа статистических свойств наноструктурированных поверхностей по данным АСМ 13
1.3 Методы изучения рельефа поверхности, основаные на взаимодействии электромагнитного излучения с шероховатой границей раздела фаз 29
1.4 Вопросы исследования и использования многослойных интерференционных зеркал 39
2 Методическая часть 45
2.1 Атомно-силовая микроскопия 45
2.2 Рентгеновское рассеяние 45
2.3 Оптические измерения 46
2.4 Образцы 49
3 Экспериментальные результаты 50
3.1 Учет артефактов АСМ при расчете параметров шероховатости сверхгладких поверхностей 50
3.2 Влияние статического заряда поверхности диэлектрических материалов на достоверность данных АСМ 81
3.3 Комплексное исследование поверхностных наноструктур методами атомно-силовой микроскопии, рентгеновского рассеяния и дифференциального рассеяния света 92
3.4 Корреляция рельефа пленочного покрытия и подложки в интерференционных зерклах оптического диапазона 103
Основные результаты и выводы 117
Благодарности 119
Литература 120
