Введение
1. Электродинамика БП зондирования неоднородных сред 19
1.1 Схема БП зонда и метод расчёта импеданса 19
1.2 Квазистатическая теория БП зондирования плоскослоистой среды
1.2.1 Расчёт импеданса 22
1.2.2 Пределы применимости КС приближения 26
1.3 Теория БП локации сферической неоднородности 30
1.3.1 Общее решение для шара в однородной среде 30
1.3.2 Эффекты высших мультиполей 39
1.3.3 Рэлеевское приближение для шара в однородном полупространстве 45
1.4 Зондирование опухолевых образований в биологических средах 49
1.4.1 Проблемы диагностики злокачественной опухоли молочной железы 49
1.4.2 БП метод в исследовании свойств биологических тканей 53
1.4.3 БП зондирование злокачественной опухоли молочной железы 54
Выводы 57
2. Радиационные эффекты в слабопоглощающих средах 59
2.1 Радиационные эффекты в плоскослоистой среде 59
2.1.1 Дальнодействие и резонансные эффекты: теоретическое обоснование 59
2.1.2 Устройство и электродинамика БП зонда 63
2.1.3 Результаты измерений 66
2.2 Радиационные эффекты на трёхмерных объектах 68
2.2.1 Дальнодействие и разрешающая способность БП локатора 68
2.2.2 Резонансное возбуждение мультипольных мод 72
Выводы 74
3. Обратные задачиБПмикроскопии 75
3.1 Определение сопротивления полупроводниковой плёнки 75
3.1.1 Методы измерения резистивных свойств полупроводниковых структур 75
3.1.2 Устройство и электродинамика БП микроскопа 78
3.1.3 Характеристики плёночных структур 80
3.1.4 Результаты измерений 83
3.2 Профилометрия концентрации свободных носителей в полупроводниках 88
3.2.1 Проблемы профилометрии в полупроводниковых технологиях 88
3.2.2 Решение обратной задачи 91
3.2.3 Результаты моделирования 97
Выводы 102
Заключение 104
А. Электромагнитные поля БП зонда в однородной среде 107
Б. Электромагнитные поля зонда в однородном полупространстве 110
Список публикаций авторапотеме диссертации 112
Литература 115
